インバー合金を平面・平行度・直角度0.02で加工した半導体装置部品

加工のポイント

加工時に反りが発生しやすいインバー合金の切削・研磨加工事例です。

反りが出ないよう切削し、仕上げで研磨をかけることで高い精度の平面度、平行度を実現しました。

加工時に形状変化が起きやすい材質も切削と研磨を組み合わせることで高い精度出しが可能です。

製品仕様

材質

インバー（低熱膨張合金）

加工種別

切削・研磨

寸法・精度

t8×100×100／t8×50×50
平面度・平行度・直角度：0.02

産業

半導体関連

対応ロット数

30個

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